设备处理量:600 LPM
应用工艺:ETCH、DIFF/CVD
处理气体:SiH4、CF4、TEOS、PFCs
设备尺寸:W850 * D900 * H2100 (mm)
Burn特殊设计,有效抑制 NOx 生长
适用、应用范围广、占地面积小
模块化设计、自动化程度高、易维护
运行成本低
防堵塞、防腐蚀设计
效率更高
经过思辰坚持不懈的研究,以及有效的实验验证,大幅提升产品工作效率。
更安全
以“安全为己任”的工作态度,创造出对社会更加安全保障的产品。
更环保
严格的行业生产标准,针对产品进行高标准的生态环保要求。
更方便
满足多个行业场景的使用,以及不同的特殊使用场景,定制化产品解决方案。
配备完善的生产设施、独立的研发实验室和各式各样的精密仪器,我们确保了生产良率高达 99%。这不仅保障了产品的卓越
品质,还赋予我们针对客户特定需求进行研发创新的能力。
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