设备处理量：600 + 600 LPM
应用工艺：DIFF、T/F、ETCH
处理气体：SiH4、NH3、NF3、TEOS、N2O
设备尺寸：W1700 * D900 * H2100 （mm）
双腔设备（减少空间，减少管理）
内部加热棒加热形式，升温降温块，热分布均匀
占地面积小
运行成本低
模块化设计、自动化程度高、易维护
效率更高
经过思辰坚持不懈的研究，以及有效的实验验证，大幅提升产品工作效率。
更安全
以“安全为己任”的工作态度，创造出对社会更加安全保障的产品。
更环保
严格的行业生产标准，针对产品进行高标准的生态环保要求。
更方便
满足多个行业场景的使用，以及不同的特殊使用场景，定制化产品解决方案。
配备完善的生产设施、独立的研发实验室和各式各样的精密仪器，我们确保了生产良率高达 99%。这不仅保障了产品的卓越
品质，还赋予我们针对客户特定需求进行研发创新的能力。
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