设备处理量：3000 LPM
应用工艺：ETCH, MOCVD, EPI
处理气体：NF3、H2、TEOS、WF6、N2O 、PFC Etc.
设备尺寸：W1700 * D900 * H2100 （mm）
无水式尾气处理设备
大流量 H2 处理能力，无废水排放
低电能高效率， 优秀的全氟化物气体处理
Plasma火炬头使用寿命长
效率更高
经过思辰坚持不懈的研究，以及有效的实验验证，大幅提升产品工作效率。
更安全
以“安全为己任”的工作态度，创造出对社会更加安全保障的产品。
更环保
严格的行业生产标准，针对产品进行高标准的生态环保要求。
更方便
满足多个行业场景的使用，以及不同的特殊使用场景，定制化产品解决方案。
配备完善的生产设施、独立的研发实验室和各式各样的精密仪器，我们确保了生产良率高达 99%。这不仅保障了产品的卓越
品质，还赋予我们针对客户特定需求进行研发创新的能力。
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