液晶面板生产过程中,产生各种有害尾气
挥发性有机化合物(VOCs):如苯、甲苯、二甲苯等
酸性气体:氟化氢(HF)、氯化氢(HCl)等
颗粒物质:微小的颗粒物质,如尘埃、硅粉等
SCBW1500
Burn特殊设计,有效抑制 NOx 生长、适用、应用范围广、占地面积小
类型燃烧水洗设备
应用工艺ETCH、DIFF/CVD
设备尺寸W1200 * D1000 * H1900 (mm)
处理气体SiH4、CF4、TEOS、PFCs
设备处理量1500 LPM
SCPW3000N
传感器数显监控,高稳定性、高安全性能、模块化设计、自动化程度高、易维护
类型等离子体设备
应用工艺FPD
设备尺寸W1450 * D1300 * H2000 (mm)
处理气体H2、SiH4、CF4、TEOS、PFCs
可处理大容量氢气400 LPM
SCDRY100
运行成本低、处理效率高、易维护
类型干式吸附设备
应用工艺IMP、厂务
设备尺寸W700 * D700 * H1600 (mm)
处理气体PH3、AsH3、B2H6、BF3
设备处理量100 LPM
SCPW1500
等离子电极超长使用寿命、等离子体低能耗高效率、防堵塞、防腐蚀设计
设备尺寸
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