光伏行业使用气体
PERC工艺：TMA/SiH4/NH3以及N2O
TOPCon工艺：BCl3/SiH4/B2H6/NH3/PH3/H2
HJT工艺：NF3/SiH4/B2H6/PH3/CO2/H2
SCPW3000N
传感器数显监控，高稳定性、高安全性能、模块化设计、自动化程度高、易维护
类型
等离子体设备
应用工艺
MOCVD、EPI、SIC、SOLAR
设备尺寸
W1450 * D1300 * H2000 （mm）
处理气体
H2、SiH4、CF4、TEOS、PFCs
设备处理量
3000 LPM
Market@snc-semi.com
400-155-0995
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